Mikroelektromechanische Systeme - VO |
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Institut:
Institut für Elektrische Meßtechnik und Meßsignalverarbeitung
Zeitleiste: 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 0 Sem. WS SS WS SS WS SS WS SS WS SS WS SS WS SS WS SS WS SS WS SS 200x 201x
LV-Nummer: 438.404
Semesterstunden: 2
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Inhalt:
- Herstellung mikromechanischer Strukturen: surface and bulk micromachining
- Entwurf/Design von Mikrosystemen: Beschleunigungssensoren, Drehratensensoren
- Packaging von MEMS/Sensoren
- Materialeigenschaften - Charakterisierung und Modellierung
- Test, Charakterisierung und Qualifizierung
Quelle:
TUGraz-Online
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